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小金井FPD用電動CT泵/日本KOGANEI電動CT泵/原裝產品

泵（FPD用電動CT泵）

電動CT泵F-EPT系列F-EPT30型

●于液晶、PDP、有機EL機等基板用狹縫涂布機對平均涂抹的要求。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯絡、咨詢本公司

zui大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	3～30	0.05～3

電動CT泵F-EPT系列F-EPT60型

●于液晶、PDP、有機EL機等基板用狹縫涂布機對平均涂抹的要求。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯絡、咨詢本公司

zui大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	6～60	0.05～5

電動CT泵F-EPT系列F-EPT100型

●于液晶、PDP、有機EL機等基板用狹縫涂布機對平均涂抹的要求。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯絡、咨詢本公司

zui大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	10～100	0.05～5

電動CT泵F-EPT系列F-EPT200型

●于液晶、PDP、有機EL機等基板用狹縫涂布機對平均涂抹的要求。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯絡、咨詢本公司

zui大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	20～200	0.1～15

電動CT泵F-EPT系列F-EPT300型

●于液晶、PDP、有機EL機等基板用狹縫涂布機對平均涂抹的要求。
●使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯絡、咨詢本公司

zui大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.05MPa	30～300	0.1～12

泵（電動CT泵）

電動CT泵F-EPT系列F-EPT06A1型

●膜片、波紋管之后，采用了全新構造的定量排出泵
●使用液體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）

zui大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.15MPa	0.5～6	0.1～4

電動CT泵F-EPT系列F-EPT10A1型

●膜片、波紋管之后，采用了全新構造的定量排出泵
●使用液體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）

zui大吐出壓力	吐出量 ml	吐出. 輸入流量 ml/s
0.15MPa	0.5～10	0.1～4

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