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伺服閥主要用在電氣液壓伺服系統中作為執行元件。在伺服系統中，液壓執行機構同電氣及氣動執行機構相比，具有快速性好、單位重量輸出功率大、傳動平穩、抗干擾能力強等特點。另一方面，在伺服系統中傳遞信號和校正特性時多用電氣元件。因此，現代高性能的伺服系統也都采用電液方式，伺服閥就是這種系統的必需元件。

ATOS比例閥的主要型號如下：

QVHZO-A-0653-S5/O/PE
QVHZO-A-0653-S5/O/BT

QVHZO-A-0653-S5/Y/PE
QVHZO-A-0653-S5/Y/BT

QVHZO-A-0653-S3/MV/PT

QVHZO-A-0653-S3/MO/BT

QVHZO-A-0653-S3/BMV/PE
QVHZO-A-0653-S3/BMV/BT

QVHZO-A-0653-S3/Y/BT

LIRZO-AES-BP-5/50/P/6/PE

LIRZO-AEB-BC-5/50/P/6/PE
LIRZO-AES-BC-5/50/P/6/PE

LIMZO-AES-NP-6/50/P/6/PE

LIMZO-AEB-BP-6/50/P/6/PE
LIMZO-AES-BP-6/50/P/6/PE

LIMZO-AEB-BC-6/50/P/6/PE
LIMZO-AES-BC-6/50/P/6/PE

LIMZO-AEB-EH-6/50/P/6/PE
LIMZO-AES-EH-6/50/P/6/PE

伺服閥結構比較復雜，造價高，對油的質量和清潔度要求高。新型的伺服閥正試圖克服這些缺點，例如利用電致伸縮元件的伺服閥，使結構大為簡化。另一個方向是研制特殊的工作油（如電氣粘性油）。這種工作油能在電磁的作用下改變粘性系數。利用這一性質就可通過電信號直接控制油流。

典型的伺服閥由永磁力矩馬達、噴嘴、檔板、閥芯、閥套和控制腔組成。當輸入線圈通入電流伺服閥時，檔板向右移動，使右邊噴嘴的節流作用加強，流量減少，右側背壓上升；同時使左邊噴嘴節流作用減小，流量增加，左側背壓下降。閥芯兩端的作用力失去平衡, 閥芯遂向左移動。高壓油從S流向C2，送到負載。負載回油通過 C1流過回油口，進入油箱。閥芯的位移量與力矩馬達的輸入電流成正比，作用在閥芯上的液壓力與彈簧力相平衡，因此在平衡狀態下力矩馬達的差動電流與閥芯的位移成正比。如果輸入的電流反向，則流量也反向。表中是伺服閥的分類。

伺服閥結構比較復雜，造價高，對油的質量和清潔度要求高。新型的伺服閥正試圖克服這些缺點，例如利用電致伸縮元件的伺服閥，使結構大為簡化。另一個方向是研制特殊的工作油（如電氣粘性油）。這種工作油能在電磁的作用下改變粘性系數。利用這一性質就可通過電信號直接控制油流。

單向閥是流體只能沿進水口流動，出水口介質卻無法回流，俗稱單向閥。單向閥又稱止回閥或逆止閥。用于液壓系統中防止油流反向流動,或者用于氣動系統中防止壓縮空氣逆向流動。單向閥有直通式和直角式兩種。直通式單向閥用螺紋連接安裝在管路上。直角式單向閥有螺紋連接、板式連接和法蘭連接三種形式。

單向閥又稱止回閥或逆止閥。用于液壓系統中防止油流反向流動,或者用于氣動系統中防止壓縮空氣逆向流動。單向閥有直通式和直角式兩種。直通式單向閥用螺紋連接安裝在管路上。直角式單向閥有螺紋連接、板式連接和法蘭連接三種形式。液控單向閥也稱閉鎖閥或保壓閥，它與單向閥相同，用以防止油液反向流動。但在液壓回路中需要油流反向流動時又可利用控制油壓，打開單向閥，使油流在兩個方向都可流動。液控單向閥采用錐形閥芯，因此密封性能好。在要求封閉油路時，可用此閥作為油路的單向鎖緊而起保壓作用。液控單向閥控制油的泄漏方式有內泄式和外泄式二種。在油流反向出口無背壓的油路中可用內泄式；否則需用外泄式，以降低控制油壓力。

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