SMC執(zhí)行元件有葉片式和螺桿式兩種。螺桿式氣動馬達利用螺桿將活塞的直線運動變?yōu)榛剞D運動。它與葉片式相比，雖然體積稍嫌笨重，但密閉性能很好。擺動馬達是依靠裝在軸上的銷軸來傳遞扭矩的，在停止回轉時有很大的慣性力作用在軸心上，即使調節(jié)緩沖裝置也不能消除這種作用，因此需要采用油緩沖，或設置外部緩沖裝置。
　　
　　回轉式氣動馬達可以實現(xiàn)無級調速，只要控制氣體流量就可以調節(jié)功率和轉速。它還具有過載保護作用，過載時馬達只降低轉速或停轉，但不超過額定轉矩。
　　
　　回轉式氣動馬達常見的有葉片式和活塞式兩種。活塞式比葉片式轉矩大，但葉片式轉速高；葉片式的葉片與定子間的密封比較困難，因而低速時效率不高，可用以驅動大型閥的開閉機構。活塞式氣動馬達用以驅動齒輪齒條帶動負荷運動。