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INFICON氣體分析儀MPH100F九個數量級的動態分數

持續上升的硅晶圓價格以及對成品的需求意味著廢棄晶圓需要付出的代價。因此，在半導體制造中心了解過程并監測Transpector MPH兼有具總擁有成本低和平均故障間隔時間長的優點，

在幫助您贏利方面的作用所在城市表面的任何其他殘余氣體分析儀（RGA）。

INFICON利用在氣體分析過程控制設備領域的專長制造的RGA所有這些特性都不會犧牲INFICON Transpector氣體分析儀一貫出色的可靠性。

• 大模擬掃描和預期的數據速率為每點1.8 ms
• TCP / IP以太網連接
• 雙絲極
• 可現場更換電子倍增器
• 組合陽極，鹵素和反射極絲極套件
• *傳感器可降低安裝體積
• 九個數量級的動態分數
• <2E-15 Torr的MDPP（100 amu）
• 信噪比更高
• 可調換傳感器和電子元件
• 傳感器在潔凈室環境中裝配，測試并進行雙層包裝